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镀膜机绝对真空规比对校准系统

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以绝对真空规为标准，将被校真空规与绝对真空规进行直接比较的系统，称为绝对真空规比对校准系统

以绝对真空规为标准，将被校真空规与绝对真空规进行直接比较的系统，称为绝对真空规比对校准系统。

绝对真空规除前面已分别介绍的精密U形压力计、压缩式真空规、磁悬转子粘滞性规和克努曾规以外，还有活塞规、叶片规、布朗运动规等。目前只有精密U形压力计和压缩式真空规被一些国家列为国家级标准。<矿石分析仪/p>

国际标准化组织（ISO）公布的草案（ISO/DIS5367，ISO/DIS5300）中，对设计比对校准系统作了如下具体规定：

①校准室的体积至少应该高强度和减震性能是接在系统上的所有规管的总体积的20倍；

②校准室形状应使它的表面积与体积之比尽可能小。故选用球形容器最理想。如选用圆筒形容器，则要求筒长与筒径之比不大于4；

③规管连接管的形状要保证使气体分子进入规的工作区域前，至少能与管壁碰撞一次；

④安装在校准室上的所软水设备有规管之间的压力差和温差不应导致引进明显的测量误差；

⑤规管连接管的流导至少应为规管吸附速率（或解吸速率）的100倍；

⑥系统的极限压力应低于最低校准压力的20%.

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